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2025
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精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)與晶圓處理系統(tǒng)的創(chuàng)新突破——湖州普利姆半導(dǎo)體有限公司的技術(shù)布局
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,精密運(yùn)動(dòng)控制與晶圓處理系統(tǒng)的性能直接影響芯片制造的精度、效率和良率。作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的創(chuàng)新企業(yè),湖州普利姆半導(dǎo)體有限公司憑借其在精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)設(shè)計(jì)、晶圓裝載系統(tǒng)、氣浮旋轉(zhuǎn)軸及晶圓對(duì)準(zhǔn)臺(tái)等關(guān)鍵技術(shù)上的突破,正逐步打破國(guó)際技術(shù)壟斷,為中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化提供強(qiáng)有力的支撐。