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產(chǎn)品特性:

1、采用高精密氣浮導(dǎo)軌和弧線電機(jī)驅(qū)動

2、5軸納米精度機(jī)臺 B C軸徑向跳動25nm

3、自研的多軸運(yùn)動控制算法，實(shí)現(xiàn)高定位精度和重復(fù)精度

4、高分辨率光柵尺信號反饋

5、多種規(guī)格型號可選，支持按需定制