產品特性:
1、適用于12寸品圓的搬運傳輸自主化生產
2、滿足用戶定制化需求設計符合SEMI標準
3、可兼容多種工況要求
4、高效凈化及靜電消除等環(huán)境控制，確保品圓傳輸不受污染
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EFEM晶圓移載系統(tǒng)
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