產(chǎn)品特性：
1、輕量化設(shè)計，低膨脹系數(shù)，高導(dǎo)熱性
2、高硬度，具備優(yōu)異的耐磨性和穩(wěn)定性
3、極高的平面度及純度，滿足高標(biāo)準(zhǔn)工況要求
4、支持結(jié)構(gòu)尺寸、吸附方式、材質(zhì)按需定制
產(chǎn)品參數(shù)：
適用晶圓尺寸 | 2寸—12寸 |
平面度 | 0.3—0.5um |
結(jié)構(gòu)特征 | 銷式、環(huán)式、復(fù)合式 |
吸附方式 | 真空吸附式、伯努利吸盤（可定制） |
材質(zhì) | 碳化硅，滲硅碳化硅，氮化硅和氮化鋁等 |
特點 | 低膨脹系數(shù)，高導(dǎo)熱性、高硬度、高穩(wěn)定性 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 適用于半導(dǎo)體加工設(shè)備、晶圓量測設(shè)備、瑕疵檢測設(shè)備等 |
長按屏幕識別二維碼
打開手機掃描二維碼
