產(chǎn)品特性：
1、采用自研微型單軸機器人模組，實現(xiàn)高速、高效、高精度的晶圓校準
2、內(nèi)嵌式一體化設(shè)計，無需外設(shè)控制器及走線空間，體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊
3、搭載自研的晶圓自動對準系統(tǒng)及控制系統(tǒng)，快速完成晶圓中心與角度等補正動作，實現(xiàn)晶圓的快速定位，定位精度達0.1mm
4、配備高性能光學傳感器，可兼容透明、半透明、不透明等產(chǎn)品的定位校準，適用于100—300mm尺寸的晶圓、玻璃等產(chǎn)品
5、具備驅(qū)控系統(tǒng)、感測系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)等實時監(jiān)控功能
產(chǎn)品參數(shù)：
晶圓尺寸 | 2吋——6吋 | 晶圓材質(zhì) | 透明、半透明、不透明 |
運動軸數(shù) | 3軸（X/Y/θ） | 承載方式 | 真空吸附 |
定位精度 | ＜±0.1mm | Notch角度 | ＜±0.2° |
潔凈度 | Class 1 | 電源 | DC 24V；2A |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 適用于半導體(晶圓)、LED(藍寶石基板)、光電(玻璃)等校準定位 | ||
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打開手機掃描二維碼
