產(chǎn)品特性：
1、采用高精密氣浮導軌和直線電機驅動
2、自研的多軸運動控制算法，50nm重復定位精度
3、龍門式雙驅結構設計，承載能力強
4、高分辨率光柵尺信號反饋，實現(xiàn)納米級定位精度
5、多種規(guī)格型號可選，支持按需定制
產(chǎn)品參數(shù)：
行程 | 320mm（可定制） |
最大速度 | 1m/s |
最大加速度 | 10m/s² |
平面度 | ±2um |
直線度 | ±1um |
定位精度 | ±0.1um（校準補償后） |
重復定位精度 | ±0.05um |
最大負載 | 20Kg |
光柵尺分辨率 | 0.05um |
氣壓 | 0.4～0.5Mpa |
應用領域 | 適用于半導體加工及量測、超精密加工、光學檢測和微納加工等高端行業(yè) |
長按屏幕識別二維碼
打開手機掃描二維碼
