產(chǎn)品特性：
1、采用高精密氣浮導軌和無鐵芯直線電機驅動
2、直徑320mm精密大中空氣浮旋轉臺
3、微米級平面度和直線度
4、自研的多軸運動控制算法，實現(xiàn)高定位精度和重復精度
5、高分辨率光柵尺信號反饋，實現(xiàn)微米級定位精度
6、采用模塊化和下沉式設計，實現(xiàn)多軸的高精度、高剛度直線運動以及緊湊性結構布局
產(chǎn)品參數(shù)：
行程 | 350mm（可定制） |
旋轉臺直徑 | 310mm |
最大速度 | 1m/s |
最大加速度 | 10m/s² |
平面度 | ±1um |
直線度 | ±0.5um |
定位精度 | ±0.2um（校準補償后） |
重復定位精度 | ±0.1um |
最大負載 | 30Kg |
光柵尺分辨率 | 0.1um |
氣壓 | 0.4～0.5Mpa |
應用領域 | 適用于半導體加工及量測、超精密加工、光學檢測和微納加工等高端行業(yè) |
長按屏幕識別二維碼
打開手機掃描二維碼
