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產(chǎn)品特性:

1、采用高精密氣浮導(dǎo)軌和直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)

2、納米級平面度和直線度

3、自研的多軸運(yùn)動(dòng)控制算法，實(shí)現(xiàn)高定位精度和重復(fù)精度

4、疊加式雙驅(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，承載能力強(qiáng)

5、高分辨率光柵尺信號(hào)反饋，實(shí)現(xiàn)50um納米級定位精度

6、多種規(guī)格型號(hào)可選，支持按需定制