產(chǎn)品特性：
1、采用高精密機(jī)械導(dǎo)軌和無(wú)齒槽直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)
2、內(nèi)置高分辨率光柵尺傳感器
3、優(yōu)異的定位精度和動(dòng)態(tài)性能
4、納米級(jí)超高平面度和直線度
5、支持尺寸、行程、負(fù)載按需定制
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超精密大中空氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
超精密氣浮三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
Aligner晶圓校準(zhǔn)器
納米運(yùn)動(dòng)控制
長(zhǎng)按屏幕識(shí)別二維碼
打開手機(jī)掃描二維碼
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