在長三角半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群的核心地帶，一家專注精密運(yùn)動控制技術(shù)的"專精特新"企業(yè)——湖州普利姆半導(dǎo)體有限公司（以下簡稱"普利姆半導(dǎo)體"），近日正式發(fā)布新一代晶圓校準(zhǔn)器（Wafer Aligner）、高精度晶圓對準(zhǔn)臺（Wafer Stage）及智能晶圓搬運(yùn)機(jī)械手（Wafer Handler）系列產(chǎn)品。憑借自主研發(fā)的"多軸協(xié)同納米級精密運(yùn)動控制平臺"，普利姆半導(dǎo)體正以技術(shù)創(chuàng)新為支點(diǎn)，撬動半導(dǎo)體制造設(shè)備國產(chǎn)化的關(guān)鍵突破，為國內(nèi)晶圓廠先進(jìn)制程升級注入"湖州動能"。

深耕精密運(yùn)動控制：從"毫米級"到"納米級"的技術(shù)突圍

半導(dǎo)體制造的精度競爭，本質(zhì)上是"微納操控"能力的競賽。從晶圓光刻對準(zhǔn)到封裝測試，每一步工藝都要求設(shè)備運(yùn)動精度達(dá)到亞微米甚至納米級，同時需兼顧高速、高穩(wěn)定性與環(huán)境適應(yīng)性。然而，長期以來，高端精密運(yùn)動臺市場被海外企業(yè)壟斷，國內(nèi)晶圓廠在核心部件領(lǐng)域面臨"卡脖子"挑戰(zhàn)。

普利姆半導(dǎo)體自2018年成立以來，便錨定"精密運(yùn)動控制"這一半導(dǎo)體設(shè)備的"心臟"技術(shù)，組建了一支由機(jī)械、光學(xué)、算法、控制工程等領(lǐng)域?qū)＜翌I(lǐng)銜的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，累計(jì)投入超億元用于核心技術(shù)攻關(guān)。其自主研發(fā)的"多軸解耦納米級精密運(yùn)動控制平臺"，通過融合壓電陶瓷驅(qū)動、氣浮支撐、激光干涉測量及AI自適應(yīng)控制等前沿技術(shù)，突破了傳統(tǒng)運(yùn)動臺在多軸協(xié)同、熱漂移補(bǔ)償、高頻振動抑制等方面的瓶頸，實(shí)現(xiàn)了定位精度±0.5nm、重復(fù)定位精度±0.2nm、最大加速度5g的性能指標(biāo)，達(dá)到國際一線水平。

"我們的精密運(yùn)動臺就像半導(dǎo)體制造的'超級機(jī)械臂'，不僅要能'指哪打哪'，還要在高速移動中保持'紋絲不動'。"普利姆半導(dǎo)體技術(shù)總監(jiān)李輝博士介紹，該平臺已應(yīng)用于公司全系列核心產(chǎn)品，為客戶產(chǎn)線的良率提升與產(chǎn)能爬坡提供了關(guān)鍵支撐。

產(chǎn)品矩陣：從校準(zhǔn)到搬運(yùn)，覆蓋晶圓制造全流程精密需求

在此次新品發(fā)布會上，普利姆半導(dǎo)體圍繞"精密運(yùn)動控制"核心技術(shù)，推出了三大核心產(chǎn)品，全面覆蓋晶圓制造中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)：

1. 新一代晶圓校準(zhǔn)器（WAC-3000系列）
   針對先進(jìn)制程中晶圓與掩膜版（Mask）的高精度對準(zhǔn)需求，WAC-3000系列集成了普利姆自主研發(fā)的"六自由度納米級運(yùn)動臺"與"多波長激光干涉測量系統(tǒng)"，可在30秒內(nèi)完成12英寸晶圓的6自由度（X/Y/θ/Z/Rx/Ry）快速校準(zhǔn)，對位精度達(dá)±.3nm（3σ），較上一代產(chǎn)品效率提升40%，良率穩(wěn)定在99.95%以上，適配5nm及以下先進(jìn)制程產(chǎn)線需求。

2. 高精密晶圓對準(zhǔn)臺（WS-5000系列）
   作為光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等主設(shè)備的核心子系統(tǒng)，WS-5000系列對準(zhǔn)臺采用"氣浮+磁懸浮"復(fù)合支撐結(jié)構(gòu)，在實(shí)現(xiàn)無摩擦運(yùn)動的同時，通過主動熱管理系統(tǒng)抵消環(huán)境溫度波動影響，確保晶圓在長時間加工中保持亞納米級穩(wěn)定性。目前，該產(chǎn)品已通過中芯國際、長江存儲等頭部晶圓廠的工藝驗(yàn)證，進(jìn)入批量供貨階段。

3. 智能晶圓搬運(yùn)機(jī)械手（WH-2000系列）
   在晶圓制造產(chǎn)線的"物流"環(huán)節(jié)，WH-2000系列機(jī)械手以"高速、高潔凈、高可靠"為核心優(yōu)勢：其真空吸附式末端執(zhí)行器可實(shí)現(xiàn)0.1N級精密力控，避免晶圓損傷；6軸聯(lián)動運(yùn)動控制配合視覺引導(dǎo)系統(tǒng)，搬運(yùn)節(jié)拍縮短至1.2秒/片；同時，機(jī)身采用全密閉式潔凈設(shè)計(jì)，符合Class 1級潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，已在國內(nèi)某12英寸先進(jìn)封裝產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)24小時連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。

"從校準(zhǔn)到搬運(yùn)，普利姆的產(chǎn)品本質(zhì)上是'用精密運(yùn)動控制重新定義半導(dǎo)體制造的精度邊界'。"李輝表示，公司產(chǎn)品不僅技術(shù)指標(biāo)對標(biāo)國際，更針對國內(nèi)晶圓廠的產(chǎn)線特點(diǎn)進(jìn)行了定制化優(yōu)化，例如支持多尺寸晶圓兼容（6英寸-12英寸）、快速換型設(shè)計(jì)等，有效降低了客戶的設(shè)備改造成本。

產(chǎn)業(yè)協(xié)同：扎根湖州，賦能長三角半導(dǎo)體"生態(tài)圈"

普利姆半導(dǎo)體的崛起，與湖州及長三角地區(qū)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)密不可分。作為"中國制造2025"試點(diǎn)示范城市，湖州近年來重點(diǎn)布局集成電路、高端裝備等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，依托良好的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)與政策支持，吸引了中芯紹興、長電科技等龍頭企業(yè)落地，形成了從設(shè)計(jì)、制造到封測的完整產(chǎn)業(yè)鏈。

"我們選擇在湖州扎根，正是看中了這里完善的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)配套與開放的創(chuàng)新氛圍。"普利姆半導(dǎo)體總經(jīng)理王磊表示，公司與浙江大學(xué)、杭州電子科技大學(xué)等高校共建了"精密運(yùn)動控制聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室"，并與本地晶圓制造企業(yè)建立了"聯(lián)合研發(fā)-快速驗(yàn)證"機(jī)制，大大縮短了技術(shù)迭代周期。目前，公司年產(chǎn)值已突破2億元，預(yù)計(jì)2024年將實(shí)現(xiàn)翻倍增長，帶動當(dāng)?shù)鼐苤圃?、光學(xué)器件等上下游產(chǎn)業(yè)新增就業(yè)超500人。

值得關(guān)注的是，在近期發(fā)布的《浙江省"十四五"高端裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》中，"精密運(yùn)動控制設(shè)備"被列為重點(diǎn)攻關(guān)領(lǐng)域。普利姆半導(dǎo)體的技術(shù)突破與產(chǎn)品落地，正是浙江打造"全球先進(jìn)制造業(yè)基地"的微觀注腳。

未來展望：從"跟跑"到"領(lǐng)跑"，劍指全球精密運(yùn)動控制高地

對于下一步發(fā)展，普利姆半導(dǎo)體正加速推進(jìn)第三代精密運(yùn)動控制技術(shù)的研發(fā)，重點(diǎn)突破"超高頻響應(yīng)（>10kHz）"與"多物理場耦合控制"等難題，目標(biāo)在2026年前實(shí)現(xiàn)納米級精度運(yùn)動臺的國產(chǎn)化率超70%。同時，公司將拓展產(chǎn)品在Mini LED巨量轉(zhuǎn)移、半導(dǎo)體檢測設(shè)備等新興領(lǐng)域的應(yīng)用，力爭成為全球精密運(yùn)動控制領(lǐng)域的"隱形冠軍"。

在半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化的浪潮中，普利姆半導(dǎo)體的故事，不僅是一家科技企業(yè)的成長史，更是中國高端制造從"追趕"到"超越"的縮影。正如李輝博士所說："當(dāng)我們的精密運(yùn)動臺能在納米尺度上'跳舞'，就能托舉起中國'芯'的更大夢想。"